系統(tǒng)可以為各種材質薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng)新的融合光譜反射技術、近紅外干涉技術以及高亮度光源驅動的光譜橢偏儀技術的多傳感器融合測量技術，是國內可以實現(xiàn)同質膜厚全自動檢測的系統(tǒng)。

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*1：靜態(tài)精度或可稱為同點位多次連續(xù)測量的最大偏差值，數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結果

*2：多次取放測量同點位數(shù)據(jù)的最大三倍標準差值，數(shù)據(jù)為針對50um厚度雙拋玻璃片進行實驗的結果